高纯硅是制造微电子元件（如集成电路、微处理器和存储芯片）的最重要基础材料。SCHMITT 泵已应用于原硅的生产过程。同样也用于由拉制单晶硅晶体生产晶圆时的蚀刻和冲洗工艺。

在微芯片后续制造过程中所需的用于金属化、显影、蚀刻和清洗的部分腐蚀性液体，也由 SCHMITT 泵进行安全输送、循环，并送入处理工序。

泵不得对工艺流体造成任何污染。因为绝对纯净对于工艺稳定性至关重要。
在半导体行业的另一个应用领域：SCHMITT 泵还用于输送热式洗涤器的清洗液，这些洗涤器用于净化芯片生产过程中产生的废气。

高纯多晶硅制造
单晶晶圆的清洗和蚀刻

湿化学工艺：显影、喷淋蚀刻、浸没蚀刻、冲洗
将已使用的液体送入处理工序

离心泵是半导体和太阳能行业湿化学设备的重要组成部分，因为它们能够连续、均匀地输送工艺介质。Schmitt 离心泵专为高纯度、腐蚀性和敏感介质而设计，能够满足这些行业的高要求。

一个关键优势是均匀、低脉动的体积流量。这可确保稳定的工艺条件，例如在蚀刻工艺、清洗步骤或化学沉积过程中。同时，坚固且维护需求低的结构可在高可用性要求的设备中实现可靠运行。

对于特别关键的应用，可使用磁力联轴器泵。它们采用全密闭结构，可最大限度降低泄漏和污染风险。此外，无密封或专门设计的泵解决方案也可在开放式系统和工艺槽中安全使用。

凭借高度化学耐受性、洁净度和适应性，Schmitt 离心泵能够理想地集成到复杂生产线中，从超纯水处理、湿化学工艺步骤，到半导体和太阳能电池生产中工艺介质的连续循环输送。